东北大学将NV色心集成进金刚石MEMS,实现动态应力量子传感

日本东北大学研究人员开发出一种新方法,通过将传感区域直接集成到微机电系统(MEMS)结构中,无需外接传感器即可监测应力状态。研究团队利用单晶金刚石MEMS悬臂梁内部形成的氮-空位…
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