弗劳恩霍夫IPMS扩展300毫米量子技术平台 推进欧洲量子研究代工厂建设

弗劳恩霍夫光子微系统研究所(Fraunhofer IPMS)近日扩展了其300毫米技术平台,新增一套高灵活性物理气相沉积(PVD)系统,以强化面向下一代量子计算的CMOS兼容材料…
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