imec利用High-NA EUV光刻技术成功制造出量子点量子比特器件

在近日举行的ITF World大会上,全球先进半导体技术研究与创新机构imec展示了首个采用高数值孔径极紫外(High NA EUV)光刻技术制造的量子点量子比特器件。据imec…
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