丹麦技术大学选择Samco公司的等离子刻蚀系统用于量子光子学研究

Samco公司日前宣布,其等离子刻蚀系统RIE-400iP已被丹麦技术大学(DTU)选中用于量子光子学研究。据悉,该系统将安装在DTU的中央纳米加工设施中,计划于今年中期交付。R…
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