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Samco公司日前宣布，其等离子刻蚀系统RIE-400iP已被丹麦技术大学（DTU）选中用于量子光子学研究。据悉，该系统将安装在DTU的中央纳米加工设施中，计划于今年中期交付。RIE-400iP将用于刻蚀III-V族半导体材料，特别是GaAs和AlGaAs，这些材料是DTU量子光子学器件研究的核心，涉及量子计算和量子通信应用中单光子源的开发。