上海微系统所实现基于钙钛矿量子点的高稳定柔性纳米激光器|ACS Nano

技术研究 中国科学院 2026-03-25 13:10

近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室邓诗凯研究员团队,开发出一种基于钙钛矿量子点的柔性纳米激光器,实现了机械变形下波长与强度高度稳定的纳米激光器。传统柔性光子器件虽能通过应变实现波长调谐,却在变形时难以维持输出稳定性;该结构虽采用泊松比约为0.5的聚二甲基硅氧烷衬底,却因其在双轴拉伸时晶格周期自补偿效应,实现了高达15%应变下共振波长几乎不变的关键突破。为未来智能传感、增强现实(AR)显示和生物集成光子技术开辟了新路径。相关成果与2026年2月19日以“Quantum Dots on Flexible Nanohole Arrays Support Stable Nanolasing”为题发表于国际知名期刊《ACS Nano》。原文链接:https://doi.org/10.1021/acsnano.5c20560。

该团队提出将人脸识别作为可以利用柔性和稳定激光的场景之一。在这种情况下,人脸识别的分辨率由每个采样点获取的激光信号数量决定。通过在我们的柔性纳米激光器中引入表面形变,可以实现具有稳定波长的可调谐激光束和角度。激光发射方向由发射点的表面法线决定。因此,通过控制凸起高度来调整发射点的法线方向,可以操控光束偏转和激光发射范围。此外,量子点表面纳米孔阵列上凸起的数量和高度可以改变激光输出的密度和角度(图1a)。当集成到相机系统中时,调整这些凸起参数会改变激光信号的空间分布和数量,从而能够精确控制从每个特征点收集的信息(图1b)。为了实现这一提议的功能,需要一种能够在拉伸和弯曲下保持稳定激光并实现光束角度控制的柔性纳米激光器(图1c)。

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图1. 基于稳定波长柔性纳米激光器的人脸识别系统中像素可调性的设计提案。(a) 基于纳米孔阵列与量子点的多角度发射调谐机制。(b) 相机系统中人脸识别像素调谐过程的描述。(c) 具有稳定波长和多角度的柔性纳米激光器演示。

研究团队设计了一种复合结构:在一片具有周期性纳米孔阵列的PDMS薄膜上,填充并覆盖一层钙钛矿量子点(CsPbBr3)薄膜。这种结构利用了导模共振(GMR)效应,当受到外部光泵浦时,能在特定波长(~532 nm,绿光)产生稳定的激光发射,阈值低至~15 μJ/cm2。通过理论模拟发现,当材料在受力形变时,其共振波长是否漂移,取决于一个关键参数——泊松比。通过精确调控PDMS的组分,使其泊松比达到~0.5,该结构在受到拉伸时,两个正交方向的形变能够相互“抵消补偿”,保持有效周期和共振波长的稳定性,从而有效抑制了共振波长的漂移。

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图2 柔性聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的激光机制。(a)柔性纳米激光阵列结构图。(b)导模共振示意图。插图:二维正方形晶格的第一布里渊区。(c)柔性纳米激光阵列的模拟光学能带结构。(d)透射光谱随量子点薄膜厚度的等高线图。(e)量子点薄膜厚度80 nm时的模拟电场(上)与相位分布(下)(λ=536 nm)。(f)无量子点薄膜时的模拟电场(上)与相位分布(下)(λ=500 nm)。(Ex)²和Φ(Ex)的单位分别为V2m-2和rad。入射光电场强度E0设为1 V/m。填充量子点的孔阵列和量子点薄膜用白色虚线标出。
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图3 柔性纳米激光器的制备。(a)聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的制备流程示意图。(b)CsPbBr3量子点的透射电子显微镜图像。插图:CsPbBr3量子点溶液照片。(c)聚二甲基硅氧烷纳米孔阵列的俯视扫描电子显微镜图像。插图:聚二甲基硅氧烷纳米孔阵列照片。(d)聚二甲基硅氧烷纳米孔阵列的原子力显微镜二维图像。(e)聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的侧视扫描电子显微镜图像。插图:俯视扫描电子显微镜图像。(f)聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的原子力显微镜二维图像。(g)聚二甲基硅氧烷纳米孔阵列和(h)聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的实验测量光子能带结构。
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图4 聚二甲基硅氧烷-量子点阵列的激射行为。(a)激光测量装置示意图。(b)激光测量装置图像。插图:柔性阵列的宏观光学图像。(c)不同泵浦脉冲能量下法向探测角度收集的发射光谱(线性坐标)。插图:激射发射强度随线偏振片角度变化关系。(d)输出发射强度和半高全宽随输入泵浦脉冲能量变化关系。(e)输入泵浦通量1.5倍阈值下激射强度随时间变化。取每分钟五组数据对应的强度平均值,得到样品1-5的平均结果。

实验结果表明,在高达15%的拉伸应变下,该纳米激光器的发射波长和强度均保持稳定;在经过1000次的反复拉伸循环(5%应变)后,性能依然保持稳定。此外,研究团队充分利用该器件的柔性和法向发射特性,展示了多种功能性应用。1. 通过将激光阵列贴附于曲面(圆柱面或球面),实现了超过±50°的三维空间发射方向动态调控;2. 通过将柔性激光器直接贴合在旋转风扇的叶片上,通过实时监测激光信号的周期性变化,完成了转速测量,这种共形贴合的能力,使其能轻松应用于各种不规则运动部件的状态监测。3. 通过在激光器下方制造不同高度的凸起结构,利用局部形变改变表面的法线方向,成功实现了光束角度的可编程控制即激光光斑面积的连续可调。研究团队进一步提出了将该柔性稳定纳米激光器应用于人脸识别系统的设想:通过调控阵列表面的凸起参数,可精确控制每个特征点采集的激光信号数量和角度,从而提升识别分辨率。

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图5 柔性纳米激光阵列的稳定性。(a)柔性纳米激光阵列在拉伸下的示意图。(b, c)透射率随Λx和Λy变化的模拟结果。(d)用于拉伸的金属框架照片。(e, f)中心波长(λ)和强度随应变比例的变化曲线。(g)柔性纳米激光阵列的循环拉伸性能曲线。黑色方点线代表激射强度,绿色三角点线代表中心波长(λ)。右侧图为拉伸比例5%和0%的示意图。
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图6 柔性激光器的功能演示。(a)激射发射方向调谐示意图。(b)可调谐激射方向的光学装置图像。插图:贴附晶格的球体图像。(c)峰值发射强度和λ(发射波长)随一维偏移量的变化。曲率半径为12.5 mm。(d)光信号(强度)随二维偏移量的变化。球体半径同样为12.5 mm。(e)转速测量示意图。(f)转速测量中强度随时间变化关系。(g)激射光束面积测量光学装置。插图:突起装置示意图。纸上中心圆直径(mm):2, 4, 6, 8。(h)纸面激射光束面积随突起高度的变化。

该研究不仅解决了柔性纳米激光器在机械形变下的波长稳定性难题,还通过结构创新赋予器件主动空间光场操控能力,为柔性激光器从概念验证走向实际应用奠定了基础,在自适应AR投影显示、非接触式悬浮触控界面及高速3D重建可编程结构光传感器等下一代人机交互和智能感知应用场景中展现出广阔前景。