MIT科学家与合作者开发出可规模化生产的柔性透明硅光子芯片制造工艺

美国麻省理工学院的研究人员与奥尔巴尼纳米技术中心NY Creates的工程师合作,开发出一种可规模化制造工艺,能利用标准半导体制造技术在大尺寸晶圆上制备柔性、透明的硅光子芯片。为…
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