纽约大学部署牛津仪器的原子层沉积系统,以提升量子材料制造能力

纽约大学的NYU纳米制造洁净室最近已安装一台牛津仪器的PlasmaPro ASP原子层沉积系统,从而增强了其量子制造能力,并成为美国首个将这一技术用于超导量子应用的研究机构。该设…
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