量子科技中心_量科网

纽约大学的NYU纳米制造洁净室最近已安装一台牛津仪器的PlasmaPro ASP原子层沉积系统，从而增强了其量子制造能力，并成为美国首个将这一技术用于超导量子应用的研究机构。该设备由“美国微电子共同计划”通过NORDTECH中心资助，使纽约大学能够利用这一先进的高速率等离子体加工技术来制备超导氮化物材料，这些材料对于量子计算、量子传感和量子通信至关重要。