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Veeco与imec合作开发300mm硅光子平台钛酸钡集成工艺

Veeco Instruments与imec合作开发出一种300毫米晶圆量产兼容工艺，将钛酸钡(BaTiO₃)集成至硅光子平台。该工艺采用Veeco首款分子束外延(MBE)集群系统，通过固态/混合MBE技术在硅基板上实现了低成本、可重复的单晶钛酸钡薄膜外延生长。该技术填补了行业空白，为光学收发器、量子计算、激光雷达及AR/VR等领域提供了先进电光材料的规模化集成解决方案。

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