Veeco与imec合作开发300mm硅光子平台钛酸钡集成工艺

Veeco Instruments与imec合作开发出一种300毫米晶圆量产兼容工艺,将钛酸钡(BaTiO₃)集成至硅光子平台。该工艺采用Veeco首款分子束外延(MBE)集群系…
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