Demcon携手TNO与特温特大学 加速硅氮化物光子芯片研发

近日,Demcon与荷兰应用科学研究组织(TNO)及特温特大学达成了一项合作,以加速低能耗硅氮化物(SiN)光子芯片的研发。Demcon将通过其专门从事定制薄膜沉积设备设计和生产…
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