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比利时微电子研究中心开发出用于制造自旋量子比特的300mm晶圆工艺

近日，比利时微电子研究中心（IMEC）开发了一种稳定的300mm晶圆工艺，可用于制造自旋量子比特。据悉，该研究所正在开发利用极紫外线（EUV）光刻技术的制造工艺，以减少栅极之间的错位，并加工为全300mm晶圆。

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