比利时微电子研究中心开发出用于制造自旋量子比特的300mm晶圆工艺

近日,比利时微电子研究中心(IMEC)开发了一种稳定的300mm晶圆工艺,可用于制造自旋量子比特。据悉,该研究所正在开发利用极紫外线(EUV)光刻技术的制造工艺,以减少栅极之间的…
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