钽作为超导集成电路的基础材料
用于量子应用的超导集成电路的性能从根本上受限于材料相关的损耗。钽作为下一代量子电路的新兴材料,在超导微波谐振器和量子比特中均展现出突破性性能后,近年来引起了广泛关注。与此同时,越来越多的研究工作致力于基于钽的电路运行及相关制造工艺。钽薄膜的多晶型现象进一步激发了这一兴趣,该现象导致了其晶体结构、超导特性、相干性等的多样性。此外,钽电路在低温实验中展现出一些独特特征,这些特征在基于铝或铌的电路中尚未观察到。在本综述中,该团队总结了钽薄膜在不同基底上的生长与相选择机制、超导电路制造与性能的关键方面,包括基于第一性原理的理论研究。最后,该团队探讨了一系列未解决的问题,包括β相杂质的作用、氢氟酸溶液对链特性的影响,以及α-钽链在低温下的反常行为。

