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超导谐振器和量子比特的性能受限于表面氧化物引起的介电损耗。为降低表面氧化物的影响，研究人员采用了多种策略，包括添加金属覆盖层、表面钝化以及酸处理工艺。本研究中，该团队展示了X射线光电子能谱（XPS）作为快速表征工具的应用，用于评估铌金属覆盖层在器件制备中的有效性。通过非破坏性检测方法，研究人员系统评估了17种覆盖层防止氧扩散的能力，并分析了标准制备工艺（退火、去胶和酸清洗）对其性能的影响。最终该工作筛选出具有稳定性的覆盖层材料，并测试了其在微波谐振器中的性能表现。