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在固态氖表面悬浮的电子近日成为高质量量子比特的潜力平台。该系统中氖的生长形貌与均匀度对可扩展架构中的量子比特性能至关重要。本研究报道了利用多路超导微波谐振器实现薄层固态氖膜的可控生长与表征技术。通过监测一组频率多路复用的四分之一波长共面波导谐振器的共振频率和内禀品质因数（Qi）变化，研究人员实现了对薄膜空间均匀性的量化。在氖三相点附近采用脉冲气体沉积方案，可重复形成薄膜，并在谐振器阵列中产生可测量的频率偏移和Qi值变化。值得注意的是，沉积后在12K温度下进行1小时退火处理能改善薄膜均匀性——表现为谐振器间频率差异和Qi波动的降低，这与润湿性增强的观测结果一致。这些发现验证了基于谐振器的计量学可作为原位表征氖膜生长的工具，直接支持“惰性量子固体表面电子”量子比特平台的开发。