量子科技中心_量科网

光与高频声波之间的相互作用是集成光子学、量子与非线性光学及量子科学的核心研究领域。然而，传统悬浮式光机械结构因热锚定性能差，易受光吸收产生的热噪声影响。本工作展示了一种无需释放工艺的芯片级硅基光机械晶体腔（OMC），在低温下工作时表现出更强的激光耐受性。相较于悬浮式纳米梁OMC，该器件实现了18分贝的热光效应抑制，并能在腔內光能提高35分贝时维持接近单声子占据的状态。时间分辨测量进一步揭示了由机械衰减时间主导的快速初始热化过程。随着材料和设计的持续优化，这些成果为芯片集成无释放系统开辟了实现低噪声、高功率经典与量子电光力学的路径，例如用于微波与光学光子间的频率转换器。