在工业级半导体制造设施中制造的高Q值超导谐振器
通用量子计算机有望解决超越经典算法能力的计算难题。为实现基于超导材料平台的量子硬件,需在芯片上高质量、均匀地制造并集成大量物理量子比特。考虑到半导体工业流程在工艺控制、均匀性和可重复性方面的优势,该团队选择在半导体代工厂中制造超导量子电路。为建立工艺质量的基准线,研究人员报告了利用两层超导电路技术,在200毫米晶圆产线上制造共面波导谐振器的成果。通过对铌和钽两种材料制成的微波谐振器在单光子态下进行低温Q因子测量(超过10^6),证实了材料与工艺的高质量标准。此外,该工作还展示了在工艺中集成超导铌空气桥的同时,仍能保持铌谐振器的高品质因数特性。
