量子科技中心_量科网

基于金刚石中光学可操控自旋量子比特的量子设备，是量子传感和通信等量子技术领域的理想平台。金刚石晶体纳米与微米结构的加工对提升设备性能至关重要，但当前制造工艺仍面临挑战，往往需要在表面质量、深宽比、器件尺寸和均匀性之间作出权衡。该研究团队通过创新方法制备出毫米尺度、超薄（可至70纳米）且高度平整（<0.35纳米/微米）的单晶金刚石薄膜，这些薄膜无杂质污染且具有原子级光滑表面（均方根粗糙度<200皮米），满足最先进量子应用的严格要求。通过制造大面积自立式均匀光子纳米和微结构阵列，研究人员验证了该方法的优越性和普适性。基于改良的光刻策略，该技术具备更强扩展性，可直接生成即用型稳固结构，同时保持与拾放转移技术异质集成的兼容性。