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采用300毫米工艺制造的钽大马士革共面波导谐振器

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表面氧化物会导致超导传输子器件的性能损失。该团队探索了采用镶嵌工艺，用金属/基底界面取代器件的侧壁原生氧化物。研究人员通过在制造过程中埋入氧化层来模拟侧壁氧化现象。该工作观察到两类器件之间性能略有提升，这表明表面参与比有所降低。
作者单位： VIP可见
提交arXiv： 2026-04-23 21:38
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超导 谐振器 波导

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