可扩展的纳米级量子约束平台
突破当前纳米制造技术的局限以实现纳米级特征尺寸,对于在极端频率和长度尺度上实现光-物质相互作用的新机制至关重要。本研究展示了一种可扩展的纳米制造平台,能够制备平面内特征尺寸低至1.75纳米的器件,突破了现有自上而下纳米制造技术的边界。通过精确控制原子层沉积(ALD)的厚度并采用宽间距氧化物纳米鳍结构,研究人员将传统ALD技术转化为一种表面结构化方法,可在大面积基底上制备周期小于10纳米的纳米层状材料。所得纳米结构可作为一维栅极阵列,用于调控二维材料中的载流子行为。作为初步验证,该团队将该平台与石墨烯集成并进行了电子输运测量。在纳米层状材料实现的栅极阵列作用下,观测到与能带结构调制相符的卫星狄拉克峰,这表明存在量子限域效应。该平台为探索先前难以实现的纳米级光-物质相互作用机制开辟了新途径,在短波光学、电子学和极化激元学等领域具有重要应用前景。

