机器人化芯片级纳米制造以实现卓越一致性

与工业中刚性、大批量的自动化不同,学术研究需要的过程灵活性历来依赖于多变的手工操作。这阻碍了先进复杂器件的制造。该研究团队提出通过机械臂自动化这些小批量、高精度任务来解决这一缺口,以提升工艺控制力和一致性。作为概念验证,研究人员将该系统应用于约瑟夫森结器件的抗蚀剂显影工艺。工艺重复性的统计对比显示,机器人工艺实现的芯片间电阻离散度接近2%,较操作人员约7%的离散度有显著提升,证实了机器人技术可消除人为操作差异性,为研究环境实现工业级一致性提供了可行路径。
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提交arXiv: 2025-11-24 18:59

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