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电子辐照与退火处理是金刚石中色心/缺陷形成的一种方法。该研究团队利用化学气相沉积法制备的单晶高纯度（II型）电子级金刚石，探究了200keV低能电子辐照产生的缺陷深度分布。通过光致发光（PL）测试发现，产生的单空位浓度呈指数衰减分布，表面处衰减长度为12±1微米，空位产率为（1.1±0.2）×10⁻¹ 空位/电子/厘米。研究人员还采用PL技术系统研究了等时退火过程中形成的中性/带负电氮空位中心（NV⁰/⁻）及733纳米零声子线缺陷的深度分布。观测到的氮空位分布与空位剖面不吻合的现象，可通过包含空位团簇形成和氮-双空位（NV₂）缺陷的简易模型定性解释。传统理论认为氮空位形成受限于氮浓度，但本研究表明当空位浓度远超过替代氮浓度时，部分氮空位会转化为NV₂结构从而导致氮空位数量减少。