基于非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管电路的量子金刚石显微镜电流传感技术

量子钻石显微镜(QDM)是一种新兴磁成像工具,可通过空间电流密度映射实现电子电路的无创表征。该工作展示了对由16个非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)组成的电流镜电路的晶圆级电流传感。a-IGZO TFT因其高性能而在柔性电子领域具有广阔前景。研究团队利用QDM获取了直流电流产生的二维磁场图像,并从中提取出精确的电流密度分布图。值得注意的是,QDM测量结果与传统电学探针测量高度吻合,且能实现对常规方法无法触及的内部电路路径的电流传感。该成果凸显了QDM作为无创诊断工具在表征新兴半导体技术(特别是氧化物基TFT)方面的能力。该方法为制造工程师提供了关键洞见,有望提升柔性电子制造的良品率与可靠性。

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