2026年6月24日——TNO 与 ASML 宣布建立新的合作伙伴关系，通过光子芯片的开发与工业化生产，共同强化欧洲半导体生态系统。此次合作聚焦于 TNO 正在埃因霍温高科技园区建设的新型光子芯片试产线，该园区是欧洲集成光子学的重要中心。

推动集成光子学的规模化

通过整合各方技术专长，合作双方旨在利用光刻、工艺控制及计量解决方案，实现光子芯片的可扩展、高产量制造。该合作采用分阶段推进的方式：ASML 将在试产线设施内使用包括 DUV 和 I-Line 扫描仪在内的光刻设备。这一共享的研发环境有助于开展技术研讨会和联合创新活动，使 ASML 能够借助 TNO 的基础设施进行内部开发及客户演示。

“我们与 ASML 的合作，强化了在半导体领域打造欧洲独角兽企业的承诺。通过将我们的研发能力与全球顶尖设备相结合，我们正在创建一个对全行业都有利的独特试产环境。”

TNO 高科技产业部门常务董事 Arnaud de Jong

强化欧洲高科技产业

该试产线投入运营后，将能够在 6 英寸晶圆尺度上实现先进磷化铟（InP）光子芯片的全面制造。除了物理制造环节，现有的研究生态系统已做好充分利用这些进展的准备。TNO、埃因霍温理工大学与特温特大学正在共同创立的“光子集成技术中心”（PITC）框架内协作，将创新设计转化为实际应用。与 ASML 开展的这一新结构化合作，旨在提升运营绩效，并确保欧洲在快速演进的集成光子学领域保持全球领先地位。

TNO 高科技产业部门常务董事 Arnaud de Jong 表示：“我们与 ASML 的合作，强化了在半导体领域打造欧洲独角兽企业的承诺。通过将我们的研发能力与全球顶尖设备相结合，我们正在创建一个对全行业都有利的独特试产环境。”

ASML 高级副总裁 Stanislas Baron 补充道：“光子芯片技术的规模化，需要从前沿研究到高产量制造的无缝衔接。通过将我们的光刻系统集成到 TNO 的试产线中，我们正在弥合这一差距。此次合作为我们提供了理想环境，以优化面向集成光子学的工艺，最终加速这项变革性技术的面市时间。”