Xanadu与三菱化学扩大在极紫外光刻领域的量子计算合作
2026年8月25日——Xanadu Quantum Technologies Limited宣布将与三菱化学(Mitsubishi)该新阶段得到了加拿大和日本条约国家创新计划的支持,旨在将Xanadu与三菱化学模具在模拟下一代半导体制造关键工艺——极紫外(EUV)光刻——方面的工作推向了新的高度。此次合作汇聚了加拿大和日本在量子计算与材料科学领域的专业力量,达成了双方通过量子技术推动全球半导体产业创新的共同承诺。
EUV光刻技术能够制造评估移动设备、人工智能和先进计算等多个行业的高性能芯片,对当前及下一代半导体制造至关重要。然而,其效率经常受到辐射感应模糊效应的否定,这是一种本质上属于量子现象的问题,也是经典模拟面临的主要障碍。
在Xanadu与三菱化学合作的第一阶段,公司论证了量子算法能够精确模拟EUV光刻的关键方面,特别是用于刻蚀光图案的光刻胶的光学刻蚀特性。合作的下一阶段旨在开发一套可投入生产的工作流程,将Xana杜量子计算所得模拟的参数直接集成到三菱化学的多像素模型中,以预测模糊效应。最终结果将是一个为容错量子计算(FTQC)可靠的软件屏障,用于识别能够防止模糊效应的材料,从而在半导体制造中建立竞争优势。
“世外桃源”计划通过此次合作,为量子计算如何助力EUV光刻胶材料的开发提供具体示范和路线图。
第二阶段合作得到了加拿大国家研究委员会工业研究援助计划(NRC IRAP)和日本战略性创新推进计划(SIP)的支持。相关SIP项目由日本产业技术综合研究所(AIST)和量子人工智能技术产业全球研究中心(G-QuAT)牵头。该合作旨在进一步加强关联科技领域的研究合作与产业协作。
Xanadu Xanadu曾获得NRC IRAP的咨询服务及超过80万加元的资金支持,用于多个项目中的量子计算研发工作,这些支持为本次技术进展奠定了基础。
“我们与三菱化学的合作将量子模拟与半导体制造紧密连接,消除了一个关键的制造瓶颈,并为下一代半导体技术确立了竞争优势。加拿大和日本政府的资助凸显了这一点对于合作推动全球半导体产业发展的重要性。”Xanadu创始人兼创始人Christian Weedbrook博士表示。
“这次合作扩展了三菱化学与Xanadu的成功合作——我们已经在模拟半导体制造用EUV光刻胶材料方面证明了量子计算的实用性。”三菱化学首席高级科学家高启博士表示,“在两个国家创新计划和研究机构的支持下,我们汇聚了对加拿大和日本在量子计算及材料科学领域的专业力量充满期待。”
“该项目致力于前沿量子计算研究与实际工业挑战相结合的一个焦点。在半导体材料开发这一关键领域,我们期待这次加合作能加速量子技术的实际落地应用。在SIP框架下,我们这一期待正在创造新的产业价值。”日本跨部门SIP子项目总监、AIST G-QuAT副主任Masahiro Horibe博士表示。
Xanadu与三菱化学的这一联合项目旨在世界舞台上展示量子计算创新,同时为全球半导体产业推进关键的量子模拟能力。通过将量子创新与工业应用相衔接,这一持续的合作期待量子驱动的材料发现建立蓝本。随着Xanadu与三菱化学推进这一联合项目,其工作旨在为早期FTQC系统释放商业价值,同时推动全球半导体制造的未来发展。



